半导体制造洁净厂房设计案例

分享到:

由工业和信息化部、江苏省人民政府指导,中国电子报社、无锡市经济贸易委员会、电子工程标准定额站、无锡日报社承办的"2009中国(无锡)洁净工程高峰论坛暨《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472-2008解读"在无锡锡州花园酒店举行。

陈玉峰:各位专家上午好,我是中芯国际上海厂的陈玉峰,我讲的内容分为四部分,第一介绍半导体制造洁净厂房。第二是半导体生产环境的控制。第三是新风系统。第四是半导体分子污染的控制。

第一部分半导体制造的洁净厂房在形式上跟其他的平板洁净厂房的形式上没有什么要求。根据循环空气的特点把洁净厂房分为三种,第一种我们叫做循环空调将配合高校顺风口的形式,这种洁净室的形式是比较早的形式,在八十年代甚至最早的六十年代都是用这种形式。它的形势比较多种送风的形式有上送、侧送。它的缺点是不适合高等级和大面的洁净室,运行成本高,占用空间大。

第二种形式是循环风机配合湿式密封系统,它的特点是高静压、液槽密封;适合各种等级的洁净室。它的缺点是运行费用比较高,主要是电费方面,再来就是噪音比较高,循环风机一般都是大风机可能通过风管或者建筑结构引进来。另外施工难度大,漏风量大,系统升级(洁净度)扩充困难。

第三种形式就是主要讲的FFU循环风系统,这套系统在半导体制造行业应用最广泛的一种形式。这种形式的特点由FFU提供循环空气的动力,整个循环空气通过一台一台小风机进行循环风系统,在FFU操作引擎的时候,在施工的时候都不会造成影响,用起来非常方便,并且节省空间,另外非常重要一点是洁净度安全性高。我们根据市场的情况设备不同的往里进,安装施工包括施工人员还有机器在施工的过程中一直存在,如果安全度不高受到干扰的话,对生产会造成影响,所谓的缺点就是维护成本高。

我们讲一下环境控制,首先是洁净度。下面这张图是整个洁净度控制的概念图,首先是新风部分,一般配置是初效、中效和高效。洁净室的等级通常决定高校过滤器的覆盖率,一级洁净室要求高效100%覆盖率,换气次数400次。100级是25%覆盖率,换气次数100,1000级是12.5%覆盖率、换气次数在50次。

这个表格是我们半导体制造一些工艺生产过程的洁净等级要求,要求一般的是光照制造,还有微环境,其他的一些大的区域,包括薄膜等在百级。洁净度的要求是不是越高越好,这个主要还是决定我们的设计,或者对生产的要求,洁净度越高意味着FFU覆盖率会成倍的增加。目前对一些洁净室的设计还是大环境,不需要很高的洁净度。还有湿度控制,湿度控制主要通过循环通气冷却系统,去除洁净室循环空气的显热,最终控制洁净室温度。湿度控制主要通过新风控制箱进行控制,温度的控制目的有两个,首先是人员的舒适性,温度在21-23度都没有问题,作为制程来说我们关注的是波动性。控制洁净房的湿度主要目的是湿度过低将容易产生静电、湿度过高,对产品的影响。第二点是正压,通过洁净室内的压力传感器控制MAU风机的频率改变送风量保持洁净室的设定正压,静压层保持微正压。

再来就是照度和噪声,这个部分在新的标准里面有详细的描述,这里不具体讲了。因为现在半导体制造设备尺寸越来越大,安装起来一部分照明会被遮掩,噪声的问题比较难解决,主要在设备选型的时候注意。接下来是静电控制的问题(ESD),这个本身会造成产品的损害或者设备的损害,半导体有ESD的标准,是在S20.20
继续阅读
5G工厂在路上:从移动机器人在车间内“自主”穿行开始

制造迈向智造之路上,无线技术难以在工业互联网中推广是其中的一个痛点。“当前的工业生产场景中,无线技术只占工业互联网的6%,其中Wi-Fi占3%。工业网络链接还是现场总线和工业以太网为主。”深圳5G产业联盟专家委员会的荣乐天博士在今年上海工博会期间一场关于5G+工业互联网的会议上这样指出。

完善中国半导体产业链,电子级超高纯铝及大型高品质铝合金项目落户浙江宁波

北仑区传媒中心消息显示,近日,年产2000吨电子级超高纯铝及年产3万吨大型高品质铝合金产业化项目正式落户浙江宁波北仑芯港小镇。由于这类产品长期被国外垄断,该项目的实施将填补国内空白,完善中国半导体产业链。

台媒:中美贸易战波及半导体设备厂商,ASML、应用材料前景不明

据台媒digitimes报道,美国对华为的最新禁令已于9月15日正式生效,包括应用材料、ASML在内的半导体设备厂商虽说可望受惠于台积电、三星以及英特尔未来几年加快先进制程的落地以及EUV技术,但美国加大对华为的封锁对其产生的影响仍不可小觑。

AI芯片发展迎来新变革?半导体行业为何频频出现离职事件

在这个高速发展的信息化时代,任何一家巨头的风吹草动,都可能引起整个行业的“震动”,在体量巨大的半导体行业更是如此。2018年是全球半导体产业快速扩张的一年,同时也是人事波动频繁的一年。据笔者统计,从1月到现在,整个行业离职的高管(上市公司CTO或以上)多达三十多位,而最近备受关注的一次离职事件是王新潮辞去了长电科技CEO。

电子:行业温和复苏

主要结论及投资建议:补库存所带来的景气反弹行情结束,未来行业温和复苏,维持行业“中性”的投资评级。我们看好基于本土需求高速增长的ATM领先企业广电运通(002152行情,爱股,资金),以及随着行业复苏提升产能利用率从而减少新项目亏损并启动触摸屏项目的莱宝高科(002106行情,爱股,资金)。