中国半导体设备的脊梁(1)

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突然有一种冲动,想写一写中国本土半导体设备行业的一群人。虽然我从来没有以采访的名义向他们提出记者的“套路”问题,虽然他们在世界半导体设备舞台上的声音还微乎其微,虽然我能看到听到的只是他们人生中一个片段,但他们的热情投入与不断进取的精神让我感动。他们是中国半导体设备行业的脊梁。

素描

北方微电子的总裁耿锦启是个实在人。印象最深的那句话就是“骑车5分钟到客户”。本土公司的优势正在于贴近客户的服务,北方的客户服务中心都设在了自行车5分钟到达客户的距离之内,“公司为每个办事处都配备了自行车,保证客户随叫随到。”而北方微电子保定办公室就设在了客户的公司内部,北方人与天威人表面看是客户关系,但更像是同事关系,他们在为同一个目标而共同努力,即实现光伏模组效率的提高与成本的降低。

在公司经营与前沿技术研发领域,耿锦启的理念却已与国际接轨,进入了“汽车时代”。当北方微电子完成十五国家重大专项的刻蚀设备研发,并成功将3台200mm机台销售给中芯、华虹和宏力后,耿启锦说北方开始了“二次创业”。除了引进海外人才、继续300mm的前沿技术设备研发外,北方还成功开发了光伏PECVD设备,并且在北京设立了光伏制造整条中试线,与国际理念接轨进行研发,即以工艺开发为主,硬件调试为辅。“中国人讲求谦虚,有实力就说实力,决不吹嘘,”耿锦启说。相信北方的PECVD设备也将具备这一实力风格。

七星电子集成电路工艺设备研发中心总经理盛金龙身上洋溢着北方人特有的热情与直爽。说到300mm质量流量计Intel订单的时候,盛金龙的第一句话就是,“都是我们的错,是我们的研发有点儿慢了。”坦诚的态度给人以信任。相信一年1万台MFC的订单,及成为国内MFC老大的业绩与这种坦诚的态度不无关联。

作为中国历史最为悠久的半导体设备公司,七星的扩散退火与清洗设备早在国内市场享有很高的美誉度。在国家02专项的支持下,300mm最新的扩散退火系统即将走出七星,进入fab接受进一步的考验。当问起系统的零部件本土化情况时,盛金龙自豪地说,只有一个关键部件是纯进口的。说到自家设备的优点,盛金龙如数家珍,从设备的独特腔体设计,到如何提高工艺稳定性等等。不过最后的一句总结,“等客户有了好的结果再宣传”,让我再次感受到了盛金龙的直爽与谦虚。

中科院微电子所的叶甜春所长作为02专项的组长,“大权在握”,却丝毫没有架子。因为公差耽误了北京“32nm技术研讨会”的演讲,叶所长道歉的话说了三遍。随着国家32nm与22nm设备与工艺研发项目的开展,叶甜春胖了,因为压力,因为事情太多,“只有吃饱了才有精力。”叶甜春笑谈。

国家对半导体设备与工艺的重视,对中国产业来说是莫大的发展机会。面对千亿元的研发资金,如何用好,如何快速地促进中国半导体产业的发展,这对02专家组来说意味着责任与挑战。与科技部官员沟通、与企业沟通是必须的步骤,了解国际最新技术趋势与热点也是不可或缺的,只有通过调查研究,才有发言权。叶甜春说,我们的目标就是在2020年,中国能够成为引领世界半导体行业发展的一份力量,在世界半导体行业有自己的声音。

机遇与发展

2006年2月9日,国务院发布了《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020年)》确定了未来15年力争取得突破的16个重大科技专项,涉及信息、生物等战略产业领域,能源资源环境和人民健康等重大紧迫问题以及军民两用技术和国防技术。

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