中国半导体设备的脊梁(2)

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其中01、02专项分别为核心电子器件、高端通用芯片及基础软件,以及极大规模集成电路制造技术及成套工艺。作为信息产业的基础,IC的设计与制造引起了国家高度重视,希望籍此机会带动国内半导体全产业链的技术进步,政府对半导体的巨大投入无疑是产业发展难得的一次机遇。
七星承揽着02专项扩散退火系统的研发项目,盛金龙说,此次国家的投入与之前的十五计划相比增加了非常多,国家现在不是怕花钱,而是怕“出不来东西”。

在先进工艺研发领域的数十亿投入也将大幅提升芯片厂的工艺技术水平和IP的拥有量,促进自主创新。据中芯国际技术处长吴汉明介绍,目前中芯每年能够自主开发数百专利,45nm的激光退火、32nm的双曝光、HKMG等关键技术领域都是重点研发方向。与此同时,中芯还能够为国产半导体设备提供验证平台,为01专项的IC设计公司提供工艺支持及免费的MPW服务,与产业链上下游共同进步。

随着半导体技术日益广泛地应用于太阳能光伏、TFT、LED等领域,本土设备公司在半导体领域的技术积累已经转移到大半导体领域。中电48所、七星、北方微电子等公司与AppliedMaterials等国际公司走的是同样的道路。

随着全球对绿色能源的需求提高,以及对光伏成本降低的不懈追求,中国光伏产业开始了欣欣向荣的发展,中国的设备制造公司由于成本优势也拥有了更多的机会。“最近几年是太阳能产业发展的黄金期,但随着越来越多传统半导体国际公司进入这一领域,留给我们发展的时间也许并不太多。”七星副总经理张国铭说。

七星也是国内首家进入TFT五代线的本土设备公司,在光伏与TFT设备领域的成功正是保证七星每年业绩两位数增长的法宝。而正是有了半导体设备的技术基础,才让七星敏锐地把握住了每一次市场机遇。

挑战与困惑

“从产品开发到成熟、再到市场认可通常需要6-7年,”耿锦启说。目前半导体市场已基本成熟,2009年市场还在萎缩,国内的市场需求也不明朗,因此单纯依靠半导体设备,企业的生存与发展自然会受到制约。

市场的成熟也让任何一个细分的半导体装备很难超过2家供应商,这对不占先机的中国公司是一大挑战。“中国制造”曾改变了服装、电子等产品的世界秩序,但在最为精密的半导体设备与工艺领域,“中国制造”能否续写这一神话?没有努力不能下结论,但基础工业也绝非是一朝一夕能够快速提高的。

貌似不起眼的零部件国产化问题是目前设备产业面临的最大困惑之一。半导体设备的4大关键零部件,即泵、质量流量计、阀门和管道,看似简单的部件,但目前本土生产的先进半导体设备的核心几乎都采用进口的零部件。在产量无法与国际先进水平相提并论的今天,我们零部件的价格实际比竞争对手还要高!但设备销售的价格却必须比进口设备低30%左右,七星微电子设备分公司总经理唐亚非对此不无感慨。如何抓好基础的基础,即零部件产业,是多年来本土半导体设备公司发展的瓶颈之一。

本土设备对“技术含量略低”的光伏设备全球市场的冲击有目共睹。这也迫使国际设备公司不得不采取降价措施,因此中国光伏制造的全球价格优势也不能少了本土设备公司这一份贡献。
但我们同时还发现,不论是核心的薄膜光伏镀膜设备,还是TFT核心镀膜设备、LED生长的核心MOCVD设备,这些最为关键的领域似乎都还缺少中国公司的身影。SEMI顾问莫大康的这一评述让我们再一次审视中国设备产业的技术基础,没有坚实的钢筋,将很难盖起摩天大楼。
思考是行动的基础。正是出于对设备行业的一腔热情,让他们有了这份思考。中国半导体产业的未来,将建立在今天我们共同努力的砖石上。
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